低発塵の材料を使用し丁寧に加工されています。チャンバー本体から配管やバルブ
そして計器類まで幅広く使用して頂けます。
全てオリジナル設計ですのでお客さまの開発思想を受け継ぐヒーターに仕上がります。
設計製作は単品からご相談ください。
最高耐熱温度:200℃・400℃
構造:ヒーターと断熱材一体型
固定:ワンタッチ固定(マジップテープ等)
発熱設計:省エネ安全設計
付属品:センサー等内蔵設計可
使用方法:何を何度に加熱、保温するのか、被加熱物の材質は何なのか、できるだけ詳細な情報
形状:被加熱物の図面、マンガ図或いは現物
使用温度:被加熱物を何度に加熱したいか
使用電圧:ヒーターを使用される電圧
電気容量:特にご指定がなければ弊社にて算出
固定方法:通常マジックテープとめ
リード長:特にご指定がなければ1000mm
オプション:熱電対、サーモスタット、温度ヒューズ内蔵
※使用に関してはご要望に応じて製作可能ですので、ご相談ください。
半導体製造装置の排気系配管の加熱・保温
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